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引发举国沸腾的“国产光刻机工厂”,是假消息?

近日,网络上流传着一条关于清华大学EUV光刻机工厂即将落地的消息,这引起了众多自媒体和科技界的广泛关注。

与ASML的小型化EUV光刻机不同,这款国产EUV光刻机采用了SSMB-EUV方案,其功率甚至是ASML光刻机的40倍。这一方案采用了大型加速器光源和分光器,使得多台光刻机同时工作,从而实现了光刻机的集群化生产。

人们对这一突破性的技术革新充满了期待。

然而,我们需要理性看待这个消息。事实上,这款国产EUV光刻机并非真正意义上的EUV光刻机。

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